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发布日期:2021年12月05日

SSII系列直流磁控溅射电源

SSII系列直流磁控溅射电源

规格参数

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SS II系列直流磁控溅射电源技术规格

SS II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性,性价比高,适用于金属及部分反应膜层环境使用。

电源功率范围

2-120kW

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60Hz

输出方式

直流

输出电压

空载900V

输出特性

恒流/恒功率/恒压

灭弧时间

≤20μs

输出稳定率

0.5%

冷却方式

2-12kW风冷 20-120kW水冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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